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產(chǎn)品分類 / PRODUCT

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日本TAISEI大成技研 氣態(tài)除粉過濾設(shè)備

描述:日本TAISEI大成技研 氣態(tài)除粉過濾設(shè)備
TRAPACK是一種粉末去除捕集器,可去除半導(dǎo)體和液晶制造設(shè)備廢氣中的反應(yīng)產(chǎn)物(細(xì)粉)。結(jié)構(gòu)有渦流旋流吸附型、磁性元件型(Trapac Element)以及兩者結(jié)合的組合型三種。特別是,組合型排除了蝕刻設(shè)備和CVD設(shè)備發(fā)出的亞微米細(xì)粉

  • 產(chǎn)品型號:TU-500
  • 廠商性質(zhì):經(jīng)銷商
  • 更新時間:2024-08-07
  • 訪問量:116
產(chǎn)品介紹/ PRODUCT PRESENTATION

日本TAISEI大成技研 氣態(tài)除粉過濾設(shè)備

日本TAISEI大成技研 氣態(tài)除粉過濾設(shè)備

大成技研株式會社提供的“氣體粉末去除裝置"主要去除半導(dǎo)體、液晶制造設(shè)備(離子注入、CVD、蝕刻等)中排出的氣體反應(yīng)生成物(微細(xì)粉末)。
特別是,通過旋轉(zhuǎn)渦流吸附和高性能磁性元件,可以排除離子注入和CVD設(shè)備中產(chǎn)生的1μm以下的反應(yīng)產(chǎn)物。該裝置在元件內(nèi)幾乎沒有壓力損失,可用于真空泵的前級和后級,是一種創(chuàng)新的粉末捕集器,可以輕松處理現(xiàn)有過濾器無法去除的細(xì)粉末。它有望顯著減少維護(hù)工時并提高生產(chǎn)率。

TRAPACK是一種粉末去除捕集器,可去除半導(dǎo)體和液晶制造設(shè)備廢氣中的反應(yīng)產(chǎn)物(細(xì)粉)。結(jié)構(gòu)有渦流旋流吸附型、磁性元件型(Trapac Element)以及兩者結(jié)合的組合型三種。特別是,組合型排除了蝕刻設(shè)備和CVD設(shè)備發(fā)出的亞微米細(xì)粉。

清潔廢氣管道  減少前線閥門的維護(hù)  真空泵故障預(yù)防     提高生產(chǎn)力  減少前線維護(hù)


 外觀結(jié)構(gòu)   特征

   

去除細(xì)小反應(yīng)產(chǎn)物(細(xì)粉)


單元密度低,網(wǎng)格空隙大


粉末分層在元件的表面和內(nèi)部。

  主要用途   規(guī)格

  注入     ?一次元件/Trapac元件

  蝕刻     ?次要元素/無

         安裝位置/真空、排氣

  TU-KN100

(元件型)  主要用途:通用

元件類型:DL

端口尺寸:NW25

尺寸:D90mm x H195mm

重量:1.9kg

 TU-KN200

(元件型)  主要用途:通用

元件類型:EL

端口尺寸:NW40

尺寸:D140mm x H210mm

重量:4.6kg

 TU-KN500

(元件型)  主要用途:通用

元件類型:GL

端口尺寸:NW40

尺寸:D210mm x H260mm

重量:10kg

 TU-KN500W

(元件型)  主要用途:通用

元件類型:HL

接管尺寸:NW40

尺寸:D210mm x H390mm

重量:13kg

 TU-200

(元件型)  主要用途:

植入 元件類型:EL

連接尺寸:NW25

尺寸:D210mm x H210mm

重量:5.3kg

 TU-250

(元件型)  主要用途:

植入 元件類型:FL

連接尺寸:NW40

尺寸:D210mm x H295mm

重量:6.5kg

 TU-500

(元件型)  主要應(yīng)用:廠內(nèi)/蝕刻

元件類型:GL

連接直徑:NW40

尺寸:D300mm x H267mm

重量:10.0kg

 TU-500W

(元件型)  主要應(yīng)用:植入/蝕刻

元件類型:HL

連接尺寸:NW40、NW50

尺寸:D300mm x H415mm

重量:13kg

 TU-1000

(元件型)  主要應(yīng)用:就位/蝕刻

元件類型:GL

連接尺寸:NW40、NW50

尺寸:D300mm x H555mm

重量:16.5kg

  頁首

 TRAPPACK(Uzu型)

這是一種氣體除粉裝置,是 Trapac 的進(jìn)一步發(fā)展,配備了漩渦型元件。

 外觀結(jié)構(gòu)   特征

   

由于螺旋結(jié)構(gòu),粉末不會長時間經(jīng)歷壓力損失


幾乎所有粉末都被渦流數(shù)和渦流螺距的組合拒之門外。


粉末分層在安裝的渦流元件的表面上。

 ?主要用途 / CVD、蝕刻 ?一次元件 / 渦流元件

?二次元件 / 無 ?安裝位置 / 真空、排氣

 TU-50LM /LMJ

(渦流型)  主要用途:蝕刻/CVD

元件類型:ASD-50 渦流

連接尺寸:NW40、NW50

尺寸:□370mm x H707mm

重量:53kg / 68kg

 TU-65LM /LMJ

(渦流型)  主要用途:蝕刻/CVD

元件類型:ASD-65 渦流

連接尺寸:NW40、NW50

尺寸:□400mm x H1013mm

重量:94kg / 99kg

 TU-85LM /LMJ

(渦流型)  主要用途:蝕刻/CVD

元件類型:ASD-85 渦流

連接尺寸:NW40、NW50

尺寸:□430mm x H1064mm

重量:100kg / 115kg

 TU-95LM /LMJ

(渦流型)  主要用途:蝕刻/CVD

元件類型:ASD-95 渦流

連接尺寸:NW40、NW50

尺寸:□485mm x H1064mm

重量:145kg / 160kg

 TU-105LM /LMJ

(渦流型)  主要用途:蝕刻/CVD

元件類型:ASD-105 渦流

連接尺寸:NW40、NW50

尺寸:□535mm x H1264mm

重量:180kg / 240kg

  頁首

 TRAPPACK(組合型)

TRAPACK的進(jìn)一步進(jìn)化,配備組合型元件(渦流型+元件型)的氣態(tài)除粉裝置。

 外觀結(jié)構(gòu)   特征

   

去除細(xì)小反應(yīng)產(chǎn)物(細(xì)粉)


單元密度低,網(wǎng)格空隙大


粉末在螺旋和元件部分分層。

 ?主要用途 / CVD、蝕刻 ?一次元件 / 渦流元件

?二次元件 / Trapak 元件 ?安裝位














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