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描述:日本TAISEI大成技研 氣態(tài)除粉過濾設(shè)備TRAPACK是一種粉末去除捕集器,可去除半導(dǎo)體和液晶制造設(shè)備廢氣中的反應(yīng)產(chǎn)物(細(xì)粉)。結(jié)構(gòu)有渦流旋流吸附型、磁性元件型(Trapac Element)以及兩者結(jié)合的組合型三種。特別是,組合型排除了蝕刻設(shè)備和CVD設(shè)備發(fā)出的亞微米細(xì)粉
日本TAISEI大成技研 氣態(tài)除粉過濾設(shè)備
TRAPACK是一種粉末去除捕集器,可去除半導(dǎo)體和液晶制造設(shè)備廢氣中的反應(yīng)產(chǎn)物(細(xì)粉)。結(jié)構(gòu)有渦流旋流吸附型、磁性元件型(Trapac Element)以及兩者結(jié)合的組合型三種。特別是,組合型排除了蝕刻設(shè)備和CVD設(shè)備發(fā)出的亞微米細(xì)粉。
清潔廢氣管道 減少前線閥門的維護(hù) 真空泵故障預(yù)防 提高生產(chǎn)力 減少前線維護(hù)
外觀結(jié)構(gòu) 特征
去除細(xì)小反應(yīng)產(chǎn)物(細(xì)粉)
單元密度低,網(wǎng)格空隙大
粉末分層在元件的表面和內(nèi)部。
主要用途 規(guī)格
注入 ?一次元件/Trapac元件
蝕刻 ?次要元素/無
安裝位置/真空、排氣
TU-KN100
(元件型) 主要用途:通用
元件類型:DL
端口尺寸:NW25
尺寸:D90mm x H195mm
重量:1.9kg
TU-KN200
(元件型) 主要用途:通用
元件類型:EL
端口尺寸:NW40
尺寸:D140mm x H210mm
重量:4.6kg
TU-KN500
(元件型) 主要用途:通用
元件類型:GL
端口尺寸:NW40
尺寸:D210mm x H260mm
重量:10kg
TU-KN500W
(元件型) 主要用途:通用
元件類型:HL
接管尺寸:NW40
尺寸:D210mm x H390mm
重量:13kg
TU-200
(元件型) 主要用途:
植入 元件類型:EL
連接尺寸:NW25
尺寸:D210mm x H210mm
重量:5.3kg
TU-250
(元件型) 主要用途:
植入 元件類型:FL
連接尺寸:NW40
尺寸:D210mm x H295mm
重量:6.5kg
TU-500
(元件型) 主要應(yīng)用:廠內(nèi)/蝕刻
元件類型:GL
連接直徑:NW40
尺寸:D300mm x H267mm
重量:10.0kg
TU-500W
(元件型) 主要應(yīng)用:植入/蝕刻
元件類型:HL
連接尺寸:NW40、NW50
尺寸:D300mm x H415mm
重量:13kg
TU-1000
(元件型) 主要應(yīng)用:就位/蝕刻
元件類型:GL
連接尺寸:NW40、NW50
尺寸:D300mm x H555mm
重量:16.5kg
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TRAPPACK(Uzu型)
這是一種氣體除粉裝置,是 Trapac 的進(jìn)一步發(fā)展,配備了漩渦型元件。
外觀結(jié)構(gòu) 特征
由于螺旋結(jié)構(gòu),粉末不會長時間經(jīng)歷壓力損失
幾乎所有粉末都被渦流數(shù)和渦流螺距的組合拒之門外。
粉末分層在安裝的渦流元件的表面上。
?主要用途 / CVD、蝕刻 ?一次元件 / 渦流元件
?二次元件 / 無 ?安裝位置 / 真空、排氣
TU-50LM /LMJ
(渦流型) 主要用途:蝕刻/CVD
元件類型:ASD-50 渦流
連接尺寸:NW40、NW50
尺寸:□370mm x H707mm
重量:53kg / 68kg
TU-65LM /LMJ
(渦流型) 主要用途:蝕刻/CVD
元件類型:ASD-65 渦流
連接尺寸:NW40、NW50
尺寸:□400mm x H1013mm
重量:94kg / 99kg
TU-85LM /LMJ
(渦流型) 主要用途:蝕刻/CVD
元件類型:ASD-85 渦流
連接尺寸:NW40、NW50
尺寸:□430mm x H1064mm
重量:100kg / 115kg
TU-95LM /LMJ
(渦流型) 主要用途:蝕刻/CVD
元件類型:ASD-95 渦流
連接尺寸:NW40、NW50
尺寸:□485mm x H1064mm
重量:145kg / 160kg
TU-105LM /LMJ
(渦流型) 主要用途:蝕刻/CVD
元件類型:ASD-105 渦流
連接尺寸:NW40、NW50
尺寸:□535mm x H1264mm
重量:180kg / 240kg
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TRAPPACK(組合型)
TRAPACK的進(jìn)一步進(jìn)化,配備組合型元件(渦流型+元件型)的氣態(tài)除粉裝置。
外觀結(jié)構(gòu) 特征
去除細(xì)小反應(yīng)產(chǎn)物(細(xì)粉)
單元密度低,網(wǎng)格空隙大
粉末在螺旋和元件部分分層。
?主要用途 / CVD、蝕刻 ?一次元件 / 渦流元件
?二次元件 / Trapak 元件 ?安裝位
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