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描述:YAMADA山田光學(xué) 晶圓缺陷玻璃照明燈根據(jù)具體要求可以選擇黃光和白光兩種光源 可檢測(cè)各種缺陷 如硅片 砷化鎵 碳化硅等半導(dǎo)體晶片及液晶基板表面的異物 劃痕 拋光不均 霧狀 劃傷等
YAMADA山田光學(xué) 晶圓缺陷玻璃照明燈
YAMADA山田光學(xué) 晶圓缺陷玻璃照明燈
根據(jù)具體要求可以選擇黃光和白光兩種光源 可檢測(cè)各種缺陷 如硅片 砷化鎵 碳化硅
等半導(dǎo)體晶片及液晶基板表面的異物 劃痕 拋光不均 霧狀 劃傷等
可照明様品表面範(fàn)囲於400.000Lx以上。
因使用鹵素光源燈的光源,具有色溫度高、光照不均的減少及非常穏定鋭利照明的特性。
冷反射鏡受熱影響是鋁鏡的1/3
二段切換構(gòu)造,可用按扭切換高照明観察及低照明観察。
型號(hào):YP-150I照度范圍φ30 可對(duì)應(yīng)檢查6寸半導(dǎo)體晶片
型號(hào):YP-250I照度范圍φ60 可對(duì)應(yīng)檢查8英寸半導(dǎo)體晶(通風(fēng)機(jī)可選擇螺旋式風(fēng)扇或者管道通風(fēng)型)
宏観観察用的照明設(shè)備,可検測(cè)各種缺陥如半導(dǎo)體晶片及液晶基板制品表面的異物、刮痕、拋光不均、霧狀、劃傷等。
大于400,000luxes的照明光線可容易檢測(cè)出只有精密探測(cè)儀才可測(cè)出的瑕疵。(照射面積為 30mmdia).
使用鹵素?zé)糇鳛楣庠?,色溫高達(dá)3400K,照光和顏色均一了穩(wěn)定強(qiáng)光的照射。
由于冷鏡的使用,使得熱影響與常規(guī)鋁鏡相比較少1/2 到 1/3
光束直徑由鏡片調(diào)整30-50mm 之間調(diào)整
底部開(kāi)光,調(diào)整照明勘察器高度,操作簡(jiǎn)便,可控制光量
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